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J-GLOBAL ID：200903004670623131

露光装置及び照度分布計測方法

Inventor： 小澤 謙
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997092177
Publication number (International publication number)：1998284386
Application date： Apr. 10, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】照明条件が変わっても、照度分布計測精度の照明条件間差をできるだけ小さくして、測定精度を向上させることを目的とする。【解決手段】露光用光源からの光束で転写用のパターンが形成されたマスク上の照明領域を照明する照明光学系を有し、マスクのパターンを基板上に露光する露光装置において、照明光学系の照明条件を変更する変更手段(5)と、光束の照射エネルギーを計測する第1の計測手段(7)と、基板上での照射エネルギーの照度分布を計測する第2の計測手段(19)と、照明光学系の照明条件を変更した際に光束の照射エネルギーに基づいて、第2の計測手段に入射する光束の照射エネルギーが予め設定された設定値となるように、基板上での照射エネルギーを制御する制御手段(3)と、を具備することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

露光用光源からの光束で転写用のパターンが形成されたマスク上の照明領域を照明する照明光学系を有し、前記マスクのパターンを前記基板上に露光する露光装置において、前記照明光学系の照明条件を変更する変更手段と、前記光束の照射エネルギーを計測する第1の計測手段と、前記基板上での照射エネルギーの照度分布を計測する第2の計測手段と、前記照明光学系の照明条件を変更した際に前記光束の照射エネルギーに基づいて、前記基板上での照射エネルギーを制御する制御手段と、を具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527