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J-GLOBAL ID：200903004697004280
ウエハ受け渡し装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992003984
Publication number (International publication number)：1993190649
Application date： Jan. 13, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】 防振台の振動に応じて搬送台の高さと傾きとを調節し、防振台上に設けられているキャリヤテーブルと搬送台とを面一に保ち、半導体処理装置との間でウエハの受け渡しを適切に行なう。【構成】 このウエハ受け渡し装置は、ウエハを載せる搬送台6と、半導体処理装置を載せる防振台1の振動を検出するリニアポテンショメータ3,4,5及び変位量検出回路10と、搬送台6の高さ及び傾きを調節するリニアアクチュエータ7,8,9と、防振台1の振動時の変位量に応じて搬送台6の制御量を演算する制御量演算回路11と、制御量に基づいてリニアアクチュエータ7,8,9のストローク量を制御する搬送台制御回路12とを備えている。搬送台6は防振台1の振動に追従し、搬送台6と防振台1上に設けられているキャリヤテーブルとが面一に保たれる。
Claim (excerpt)：
防振台に載置された半導体処理装置にウエハを搬送するために、上記防振台とは別個に設置された搬送台を有するウエハ受け渡し装置において、前記半導体処理装置を載せる防振台の振動を検出する防振台振動検出手段と、前記搬送台の高さ及び傾きを調節する搬送台調節手段と、前記防振台の振動時の変位量に応じて前記搬送台の制御量を演算する制御量演算手段と、前記制御量に基づいて前記搬送台調節手段の調節量を制御する搬送台制御手段とを備えていることを特徴とするウエハ受け渡し装置。
IPC (2)：
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