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J-GLOBAL ID：200903004705619434

ガラス薄膜の製造方法及び装置

Inventor： 石川 真二 ,  金森 弘雄 ,  浦野 章 ,  相川 晴彦 ,  広瀬 智財 ,  斎藤 真秀
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992015102
Publication number (International publication number)：1993208836
Application date： Jan. 30, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 所望の組成の酸化物ガラス薄膜を製造しうる方法及び装置。【構成】 バーナ13に燃料ガスとSiCl4 、BCl4 PCl3 等の原料ガスとを供給することにより、原料ガスを加過水分解してSiO2 系のガラス微粒子を各基板11上に堆積する。これと同時に、ターンテーブル12を回転させ、かつ、バーナ13を往復移動させているので、バーナ13からのガラス微粒子は各基板11上に一様に堆積される。この場合、ガラス微粒子層の形成中に、CPU30が各干渉型赤外光度計19、119の出力を解析してB2 O3 、P2 O5 等の濃度をモニタしている。さらに、得られたB2 O3 、P2 O5 等の濃度に基づいて、原料供給系32、ヒータコントローラ34等が制御されているので、基板11上に堆積されるガラス微粒子層の組成を均一に保つことができる。

Claim (excerpt)：

反応容器内に酸水素炎とともに原料を供給してガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を基板上に堆積して多孔質状の薄膜を形成した後、該基板を高温で加熱して前記多孔質状の薄膜を透明化するガラス薄膜の製造方法において、前記多孔質状の薄膜の形成の際に、前記基板から出射した放射光の複数波長における強度をそれぞれ検出し、検出された放射光の前記複数波長における強度比に応じて、前記ガラス微粒子の生成と該ガラス微粒子の堆積との条件を調節して前記基板上に形成すべき多孔質状の薄膜の組成を制御することを特徴とするガラス薄膜の製造方法。

IPC (3)：

C03B 19/14 ,  C03B 8/04 ,  G02B 6/12