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J-GLOBAL ID:200903004707834456

電極シートおよびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002296425
Publication number (International publication number):2004134183
Application date: Oct. 09, 2002
Publication date: Apr. 30, 2004
Summary:
【課題】容易に製造することができ、シートから脱落しにくい導電性部材を備える電極シートを提供する。【解決手段】電極シート10は、シート状の絶縁性部材11と、絶縁性部材11を厚み方向に貫通するように設けられる導電性部材12とを含んで構成される。電極シート10の導電性部材12は、絶縁性部材11の表裏面に平行な断面に関し、絶縁性部材11の厚み方向内方における断面積が、絶縁性部材11の表裏面付近における断面積よりも大きくなるように形成されるので、絶縁性部材11から脱落することがない。したがって、電極シート10を半導体部品製造における電気的接続部材として使用するとき、電気的接続の信頼性を高めることが可能である。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
シート状の絶縁性部材と、絶縁性部材を厚み方向に貫通するように設けられる導電性部材とを含む電極シートにおいて、 前記導電性部材は、 前記絶縁性部材の表裏面に平行な断面に関し、前記絶縁性部材の厚み方向内方における断面積が、前記絶縁性部材の表裏面付近における断面積よりも大きくなるように形成されることを特徴とする電極シート。
IPC (3):
H01B5/16 ,  H01B13/00 ,  H01R11/01
FI (3):
H01B5/16 ,  H01B13/00 501P ,  H01R11/01 501H
F-Term (3):
5G307HA02 ,  5G307HB03 ,  5G307HC01

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