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J-GLOBAL ID:200903004712957981

スキャナ及び走査形プローブ顕微鏡。

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003375305
Publication number (International publication number):2005140568
Application date: Nov. 05, 2003
Publication date: Jun. 02, 2005
Summary:
【課題】チューブスキャナにおいて、走査スピードをより早くし、かつ、小形化することである。また、小形化されたチューブスキャナを走査形プローブ顕微鏡に用いることにより、走査形プローブ顕微鏡を小形化することである。【解決手段】円筒形状の圧電素子と、前記圧電素子の長手方向を隔てる節と、前記節を挟んで両側の前記圧電素子にそれぞれ電圧を印加する電圧印加手段と、を備えるチューブスキャナ。また、試料と、前記試料に対向する探針と、前記試料と前記探針を相対的に2次元走査すると共に、試料と探針との間の距離を変化させるチューブスキャナと、を備え、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、チューブスキャナが前記チューブスキャナであることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。【選択図】 図2
Claim 1:
円筒形状の圧電素子と、 前記圧電素子の長手方向を隔てる節と、 前記節を挟んで両側の前記圧電素子にそれぞれ電圧を印加する電圧印加手段と、 を備えるチューブスキャナ。
IPC (4):
G01N13/10 ,  G01B21/30 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187
FI (6):
G01N13/10 C ,  G01N13/10 B ,  G01B21/30 ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D
F-Term (11):
2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD27 ,  2F069GG01 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32

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