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J-GLOBAL ID：200903004724437134

アルミニウムの研磨用組成物

Inventor： 児 玉 一 志 ,  伊 東 真 時 ,  鈴 村 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社フジミインコーポレーテッド
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996320639
Publication number (International publication number)：1998158634
Application date： Dec. 02, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 アルミニウム膜の研磨速度が大きく、スクラッチおよび、ディッシングの発生が少なく、適度な選択比およびその他の基本的な研磨性能を有し、かつ保存時の経時変化が小さくて安定性が良好である、アルミニウム膜の研磨用組成物の提供。【解決手段】 二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、窒化ケイ素、および酸化ジルコニウムからなる群より選ばれる研磨材および水を含んでなるアルミニウム膜の研磨用組成物であって、さらにこの組成物中に溶存している鉄(III)化合物を含んでなることを特徴とする、アルミニウム膜の研磨用組成物。

Claim (excerpt)：

二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、窒化ケイ素、および酸化ジルコニウムからなる群より選ばれる研磨材および水を含んでなるアルミニウム膜の研磨用組成物であって、さらにこの組成物中に溶存している鉄(III)化合物を含んでなることを特徴とする、アルミニウム膜の研磨用組成物。

IPC (4)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (4)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P