Pat

J-GLOBAL ID：200903004734816443

原子間力顕微鏡及び情報処理装置

Inventor： 新庄 克彦 ,  黒田 亮 ,  川瀬 俊光 ,  宮崎 俊彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991257196
Publication number (International publication number)：1993071951
Application date： Sep. 10, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 光てこ方式の原子間力顕微鏡において、レーザー光の反射ビームが拡散するのを防止し、検出精度,感度の向上を図る。【構成】 光てこ方式の原子間力顕微鏡において、試料表面の形状を測定するためのプローブ103がヒンジ106により支持された光反射平板105の一端部に設けられ、原子間力にて上下動する該プローブ103の移動により生じる、ヒンジ部106のねじれ角に対応した光反射平板105の回転角により、試料表面の形状変化を検出する原子間力顕微鏡を特徴とする。

Claim (excerpt)：

光てこ方式の原子間力顕微鏡において、試料表面の形状を測定するためのプローブがヒンジにより支持された光反射平板の一端部に設けられ、原子間力にて上下動する該プローブの移動により生じる、ヒンジ部のねじれ角に対応した光反射平板の回転角により、試料表面の形状変化を検出する構成を特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  G11B 9/00