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J-GLOBAL ID：200903004741008670

面位置検出装置

Inventor： 加藤 欣也 ,  白数 廣 ,  関 昌美
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994136946
Publication number (International publication number)：1996006263
Application date： Jun. 20, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 投影光学系の周囲に配置用の空間の制約がある場合でも、正確に焦点位置検出を行う。【構成】 マスク21上の照明領域23内のパターンを投影光学系24を介してプレート25上の露光領域26に投影する。光源1からの検出光がスリット板3を照明し、スリット板3からの検出光がミラー5及び対物レンズ6等を経て露光領域26の中央部に斜めに入射し、そこにスリット像12が結像される。スリット像12からの反射光が、対物レンズ7及びシリンドリカルレンズ10等を介してイメージセンサ11の受光面にスリット像を再結像する。対物レンズ6の光軸AX2 をプレート25上へ投影して得られる軸13に直交する軸に対してスリット像12を傾斜させる。

Claim (excerpt)：

第1面上に形成されたスリット状パターンの像を被検面に対して斜めの方向から投射する投射光学系と、前記被検面で反射された光束を集光して前記スリット状パターンの像を第2面上に再形成する集光光学系と、前記第2面上の前記スリット状パターンの像の位置を光電的に検出する光電検出手段とを有し、該光電検出手段の検出結果に基づいて前記被検面の面位置を検出する装置において、前記投射光学系の光軸を前記被検面上に投影して得られる軸に直交する前記被検面上での軸に対して前記スリット状パターンの像の長手方向を傾斜させると共に、前記集光光学系内に、該集光光学系により形成される前記スリット状パターンの像の長手方向と該集光光学系の光軸とを含む面内で正屈折力を有する一方向性集光系を配置したことを特徴とする面位置検出装置。

IPC (4)：

G03F 9/00 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 526 B