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J-GLOBAL ID：200903004747709077

クラスターイオン種のソフトランディング方法

Inventor： 茅 幸二 ,  中嶋 敦 ,  十代 健
Applicant, Patent owner： 学校法人 慶應義塾 ,  日本学術振興会
Agent (1)： 眞鍋 潔 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000254555
Publication number (International publication number)：2002069622
Application date： Aug. 24, 2000
Publication date： Mar. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 クラスターイオン種のソフトランディング方法に関し、クラスターイオン種を解離することなく、より大きな速度で堆積する。【解決手段】 基板1上に不活性ガス分子層からなるマトリックス2を堆積させたのち、質量選別したクラスターイオン種5を前記基板1上に蒸着する。

Claim (excerpt)：

基板上に不活性ガス分子層からなるマトリックスを堆積させたのち、質量選別したクラスターイオン種を前記基板上に蒸着することを特徴とするクラスターイオン種のソフトランディング方法。

F-Term (5)：

4K029AA02 ,  4K029BA02 ,  4K029BA62 ,  4K029CA03 ,  4K029DD03