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J-GLOBAL ID：200903004750792864

半導体製造装置

Inventor： 関原 仁 ,  曲 正敏
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 守山 辰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997200894
Publication number (International publication number)：1999031733
Application date： Jul. 10, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】基板の処理方法の変更作業を容易化することができる共に、誤ったムーブメントパラメータやV軸ポジションデータの入力に起因する移載機の誤作動を防止することができ、生産効率を向上させることができる半導体製造装置を提供する。【解決手段】基板の処理方法を変更する場合、操作部11のメモリーカード23に記憶された基板アレンジメントパラメータの一つを選択するだけで、その基板アレンジメントパラメータのピッチ識別データに対応するムーブメントパラメータ及びV軸ポジションデータがCPU15によってRAM17から自動的に読み出される。CPU15は、基板アレンジメントパラメータ,ムーブメントパラメータ及びV軸 ポジションデータに基づき移載機6を作動させる。従って、基板の処理方法を変更する際に、ムーブメントパラメータ及びV軸ポジションデータを新たにRAM17に入力し直す必要がなくなる。

Claim (excerpt)：

カセットから取り出した基板を移載機によってボートに移載する際、第1の制御データ及び第2の制御データに基づいて前記移載機の作動を変化させ、ボートに積載される基板間のピッチを変更できるようにした半導体製造装置において、ピッチ識別データを含む前記第1の制御データを記憶させた第1記憶手段と、前記第1の制御データのピッチ識別データに対応する第2の制御データを記憶させた第2記憶手段と、前記第1記憶手段から所望の第1の制御データを読み出して出力する操作手段と、該操作手段から出力された第1の制御データのピッチ識別データに対応する第2の制御データを前記第2記憶手段から読み出し、これら第1の制御データ及び第2の制御データに基づいて移載機に作動制御信号を出力する制御手段と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 511

FI (2)：

H01L 21/68 D ,  H01L 21/22 511 J