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J-GLOBAL ID：200903004751863145

無機物質含有高感度感光性レジストおよび高感度ドライフィルムレジスト

Inventor： 中村 隆一
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997005409
Publication number (International publication number)：1998207046
Application date： Jan. 16, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】無機物質を含む感光性材料のパターニングを容易にする高感度感光性レジストおよび高感度ドライフィルムレジストを提供することにある。【解決手段】少なくとも基板10と感光層20とから成るパターン形成可能な無機物質含有感光性レジストにおいて、該感光層が2層から成り、前記2層の感光層が基板10上に無機物質を含む第1感光層22と無機物質を含まない第2感光層24の順に積層して成ることを特徴とする無機物質高感度感光性レジストとしたものであり、この原理を応用した無機物質含有高感度ドライフィルムレジストとしたものである。

Claim (excerpt)：

少なくとも基板(10)と感光層(20)とから成るパターン形成可能な無機物質含有感光性レジストにおいて、該感光層が2層から成り、前記2層の感光層が基板(10)上に無機物質を含む第1感光層(22)と無機物質を含まない第2感光層(24)の順に積層して成ることを特徴とする無機物質含有高感度感光性レジスト。

IPC (2)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/26 511

FI (2)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/26 511