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J-GLOBAL ID:200903004764003722
多層磁気抵抗効果膜および磁気ヘッド
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小川 勝男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995041579
Publication number (International publication number):1996235540
Application date: Mar. 01, 1995
Publication date: Sep. 13, 1996
Summary:
【要約】【目的】簡便な装置で、高磁気抵抗効果特性を示す多層磁気抵抗効果膜を作成する。【構成】多層膜と基板との間に3d遷移金属元素の酸化物からなるバッファ層を形成し、これにより多層膜を(111)面配向とし、Mn系合金を面心立方構造とした。【効果】本発明によるバッファ層は、従来よりも少ないスパッタリング・カソードで形成が可能である。また、面心立方構造のMn系合金は、室温で反強磁性を示すため、Mn系合金に接する磁性層に高い交換バイアス磁界が印加される。
Claim (excerpt):
二層の磁性層が非磁性層により分離されており、一層の磁性層に反強磁性層が接している多層膜が、3d遷移金属元素の酸化物からなる層の上に形成されていることを特徴とする多層磁気抵抗効果膜。
IPC (2):
FI (2):
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