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J-GLOBAL ID：200903004765859523

X線回折装置及びそれに用いる位置敏感型ガス入りX線計数器

Inventor： 尾形 潔 ,  中野 朝雄 ,  河野 真貴子 ,  東 和文
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991127266
Publication number (International publication number)：1993332958
Application date： May. 30, 1991
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】固体表面の原子あるいは分子の配列を解析するために、高真空雰囲気の測定室内においてX線回折を測定可能とする。また、高真空雰囲気において、任意のエネルギーのX線を高精度に計数可能な位置敏感型ガス入りX線計数器を提供する。【構成】4は高真空雰囲気の測定室である。入射X線1は試料2に入射し、回折X線3は位置敏感型X線計数器5により計数する。5は2重のX線透過窓6、7を持ち、これら両窓の間の真空容器部10はターボ分子ポンプ14及びロータリーポンプ15によって排気される。16は真空計であり、X線透過窓7が破損し、真空容器部10の圧力がある値より大きくなった場合には、自動的に17の締切バルブを閉じ測定室4への動作ガスのリークを防止する。18は圧力調整器であり、一定のガス圧を保って計数器部に動作ガスを供給する。

Claim (excerpt)：

位置敏感型ガス入りX線計数器及び試料台を高真空雰囲気の測定室内に収納して成るX線回折装置であって、前記位置敏感型ガス入りX線計数器を、低X線吸収の膜よりなる第1のX線透過窓を有すると共に、内部にX線により電離される所定圧力の動作ガスと動作ガスの電離を測定するための電極とを収納して成る計数器部と;少なくとも前記第1のX線透過窓を一方の隔壁とし、この隔壁から所定の間隔を置いて対向して設けられた低X線吸収の膜よりなる第2のX線透過窓を他方の隔壁とする容器と、この容器内の真空度を独自に制御し得る排気手段とを有して成る真空容器部とで構成して成り、高真空中でX線回折を測定可能としたX線回折装置。

IPC (3)：

G01N 23/207 ,  G01T 1/18 ,  G01T 7/00