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J-GLOBAL ID：200903004766640029

ラップ機の定盤洗浄装置

Inventor： 国行 晋平 ,  山崎 之弘
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995236133
Publication number (International publication number)：1997057610
Application date： Aug. 21, 1995
Publication date： Mar. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ラップ機の上下の定盤の狭くて深い溝に堆積付着した固体異物を、水ジェットを用いて取り除き、ラップ機の被加工平板の平行平面加工面精度を超精密加工精度に維持することができる構造が比較的簡単なラップ機の定盤洗浄装置を提供すること。【解決手段】 表面に溝を有し一定速度で旋回する円盤状の上下定盤21,22を具備するラップ機の該定盤の溝に堆積した固体を含む汚れを洗浄して除去するラップ機の定盤洗浄装置であって、上下定盤21,22のラジアル方向に移動する直進アーム又は該定盤の回転外に旋回中心Oをもつ旋回アーム20にジェットノズル23に連結した圧力水配管7と吸い込み口24-1,24-2に連結した真空配管6-1,6-2を該ジェットノズル23及び吸い込み口24-1,24-2が先端近傍に位置するように並列に配列し、圧力水配管7及び真空配管6-1,6-2を固定部に設けた外部からの圧力水が入り込む圧力水入口25及び外部真空系に連結した真空口26に連結した。

Claim (excerpt)：

表面に溝を有し一定速度で旋回する円盤状の定盤を具備するラップ機の該定盤の溝に堆積した固体を含む汚れを洗浄して除去するラップ機の定盤洗浄装置であって、前記定盤のラジアル方向に移動する直進アーム又は該定盤の回転外に旋回中心をもつ旋回アームにジェットノズルに連結した圧力水配管と吸い込み口に連結した真空配管を該ジェットノズル及び吸い込み口が先端近傍に位置するように並列に配列し、該圧力水配管及び真空配管を固定部に設けた外部からの圧力水が入り込む圧力水入口及び外部真空系に連結した真空口に連結したことを特徴とするラップ機の定盤洗浄装置。

IPC (2)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (2)：

B24B 37/00 Z ,  H01L 21/304 321 A