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J-GLOBAL ID：200903004780251671

板状体、無機化合物基板、磁気記録媒体及び磁気記憶装置

Inventor： 桐野 文良 ,  稲葉 信幸 ,  山本 浩貴 ,  高橋 研 ,  内藤 孝 ,  寺尾 元康 ,  保坂 純男 ,  小山 栄二 ,  蔵本 浩樹
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立マクセル株式会社
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999181434
Publication number (International publication number)：2001014649
Application date： Jun. 28, 1999
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 磁性膜における結晶粒径及びその分布を制御して、ノイズの少ない高性能な磁気記録媒体を提供する。【解決手段】 基板上11に、酸化コバルト、酸化クロム、酸化鉄あるいは酸化ニッケルの内より選ばれる少なくとも1種類の酸化物を主体とする結晶粒と、該結晶粒の粒界に非晶質として存在する酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタルあるいは酸化亜鉛の内より選ばれる少なくとも1種類の酸化物を含む無機化合物膜の下地膜12を形成し、その上に磁性膜13を形成する。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に形成された無機化合物膜とを備える板状体において、前記無機化合物膜は、酸化コバルト、酸化クロム、酸化鉄、酸化ニッケルの内より選ばれる少なくとも1種類の酸化物を主体とする結晶粒と、該結晶粒の粒界に非晶質として存在する酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化亜鉛の内より選ばれる少なくとも1種類の酸化物とを含むことを特徴とする板状体。

IPC (3)：

G11B 5/738 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/64

FI (3)：

G11B 5/738 ,  C23C 14/34 P ,  G11B 5/64

F-Term (20)：

4K029BA06 ,  4K029BA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB07 ,  4K029BB10 ,  4K029BD11 ,  4K029EA01 ,  5D006BB01 ,  5D006BB02 ,  5D006BB06 ,  5D006BB07 ,  5D006CA01 ,  5D006CA04 ,  5D006CA05 ,  5D006CA06 ,  5D006CB04 ,  5D006CB06 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006FA09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平2-069907
  
• 無機化合物薄膜および無機化合物薄膜の成膜方法、ディスク状基体、磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法、磁気ディスク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-161999   Applicant：日立マクセル株式会社
• 垂直磁気記録媒体および記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-139655   Applicant：株式会社日立製作所
• 垂直磁気記録媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-315654   Applicant：日本電気株式会社
• 磁気記録媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-266964   Applicant：株式会社東芝
• 磁気ディスク及びそれを用いた磁気記録装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-229119   Applicant：株式会社日立製作所, 日立マクセル株式会社