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J-GLOBAL ID：200903004783679036

結晶作製装置及び結晶作製方法

Inventor： 雨宮 光陽
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999051070
Publication number (International publication number)：2000247772
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Sep. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 直径300mm以上の大口径結晶であっても、固液界面の位置を安定させ、均一な結晶を得ることが可能な結晶作製装置及び結晶作製方法を提供すること。【解決手段】 炉内に、原料を収納するるつぼ3とるつぼ3を取り囲む様に配置されたヒーター1a,1bを有し、るつぼ3を引き下げることで原料融液4を下方から冷却し結晶を作製する装置において、るつぼ3の位置にかかわらず炉内における原料4の融点温度の位置が一定範囲(A-B)内に位置するように、炉内温度を制御するための制御系7を設けたことをことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

炉内に、原料を収納するるつぼと該るつぼを取り囲む様に配置されたヒーターを有し、該るつぼを引き下げることで原料融液を下方から冷却し結晶を作製する装置において、該るつぼの位置にかかわらず炉内における原料の融点温度の位置が一定範囲内に位置するように、炉内温度を制御するための制御系を設けたことをことを特徴とする結晶作製装置。

F-Term (9)：

4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CD02 ,  4G077EG01 ,  4G077EG18 ,  4G077EH07 ,  4G077HA01 ,  4G077MB04 ,  4G077MB33