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J-GLOBAL ID：200903004789813982

光ファイバケーブルの密封方法および投影露光装置

Inventor： 吉澤 朋也
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004195509
Publication number (International publication number)：2006017994
Application date： Jul. 01, 2004
Publication date： Jan. 19, 2006
Summary：

【課題】 本発明は、真空環境内に配置された光ファイバを収容する金属ベローズ管が周囲の環境の圧力変動が発生しても伸縮しないようにすることを目的とする。【解決手段】 光ファイバを収容する金属ベローズ管において、光ファイバよりも剛性が高く、光ファイバと同等の長さを有した一本または複数本のワイヤー状部材の端面を光ファイバに構成したフランジ部端面と金属ベローズ端面に固定することを特徴とする。【選択図】 図1

Claim 1：

屈曲性を有した金属性フレキシブル管で密封された光ファイバケーブルの密封方法であって、前記フレキシブル管外部の圧力の変動による前記フレキシブル管の伸縮に起因する前記光ファイバケーブルにかかる引張又は圧縮応力を抑制する手段を備えることを特徴とする光ファイバケーブルの密封方法。

IPC (2)：

G02B 6/00 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G02B6/00 341 ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

F-Term (6)：

2H038AA51 ,  2H038CA42 ,  5F046BA03 ,  5F046CB04 ,  5F046GA03 ,  5F046GB09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 薄膜形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-307840   Applicant：株式会社オプトラン
• コネクター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-159721   Applicant：株式会社ニコン