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J-GLOBAL ID：200903004793572337

固体撮像装置のマイクロレンズ形成方法及び同レンズ形成用予設構造体

Inventor： 松 本 夏 代
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993121552
Publication number (International publication number)：1994334160
Application date： May. 24, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ウェーハW上に材料レジストを塗布し、この材料レジストの露光処理によりメルト時の応力分散度を予定してマイクロレンズ材料基体6を多角形状に形成する((a))。その後、基体6の熱メルト処理によりマイクロレンズ7を形成する((b))。マイクロレンズ材料基体6は六角以上の偶数多角形や無数多角形である正円ないしは楕円を有するものとして形成される。これにより、マイクロレンズ7をその周縁部及びその付近の表面形状の曲率が中心部及びその付近のそれの可及的に差のないものとして仕上げる。【効果】 固体撮像装置としての使用の際の迷光発生を防止できる。また、形状制御が確実な原形パターンのときにマイクロレンズ仕上り形状や寸法を決めることができ、マスク設計・製造が容易となる。

Claim (excerpt)：

基板上に材料レジストを塗布する工程と、前記材料レジストの露光処理によりメルト時の応力分散度を予定してマイクロレンズ材料基体を多角形状に形成する工程と、前記マイクロレンズ材料基体の熱メルト処理によりマイクロレンズを形成する工程とを含んでいる固体撮像装置のマイクロレンズ形成方法。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H04N 5/335