Pat

J-GLOBAL ID：200903004794314501

気密容器の封着方法

Inventor： 日方 元 ,  菊谷 武民
Applicant, Patent owner： 日本電気硝子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000166136
Publication number (International publication number)：2001345395
Application date： Jun. 02, 2000
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【目的】 封着材としてリン酸塩系封着ガラスを使用しても、封着温度を上げることなく、被封着物との濡れ性を良好にすることが可能な気密容器の封着方法を提供することを目的にする。【構成】 気密容器の構成部材を封着材によって封着するに際し、少なくとも一方の構成部材の封着面をプラズマ処理した後、封着することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

気密容器の構成部材を封着材によって封着するに際し、少なくとも一方の構成部材の封着面をプラズマ処理した後、封着することを特徴とする気密容器の封着方法。

IPC (4)：

H01L 23/02 ,  C03C 8/08 ,  C03C 8/24 ,  H01L 23/10

FI (4)：

H01L 23/02 Z ,  C03C 8/08 ,  C03C 8/24 ,  H01L 23/10 A

F-Term (63)：

4G062AA09 ,  4G062BB09 ,  4G062CC04 ,  4G062CC08 ,  4G062CC10 ,  4G062DA01 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD04 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE06 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH04 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN32 ,  4G062NN34 ,  4G062PP01 ,  4G062PP12