パターン形成装置、及びパターン形成方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上誠一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005350126
Publication number (International publication number)：2007152215
Application date： Dec. 05, 2005
Publication date： Jun. 21, 2007
Summary：

【課題】基板のヨーイングに起因するパターン形成の精度低下を、ヘッドのインク吐出タイミングを補正することで抑制し、高精度なパターン形成を実現するパターン形成装置を提供する。【解決手段】パターン形成装置1の、基板3を載置する基板載置部の載置部中方に対して対称な位置に2つのスケール読取ヘッド65を設ける。2つのスケール読取ヘッド65の出力を、それぞれ2つの位置エンコーダ91で位置情報を示すパルスに変換し制御部41に入力する。制御部41の時間ズレ計測部93は、2つの位置エンコーダ91からの入力値から、基板3のヨーイングを検出し、ヘッド67のノズル吐出孔69ごとの吐出タイミングを補正することにより、パターン生成の位置ズレを補正する。【選択図】図7

Claim 1：

加工対象に加工処理を行う加工部と前記加工対象が載置される載置部とを相対的に移動させつつ、前記加工部による加工処理を行って前記加工対象にパターンを形成するパターン形成装置であって、前記加工部または前記載置部の少なくともいずれかを直線移動させる直線移動手段と、前記直線移動による移動量を複数箇所で計測する複数の計測手段と、前記複数の計測手段により取得した複数の計測情報の差に基づいて、前記加工部の加工タイミングを補正するタイミング補正手段と、を、具備することを特徴とするパターン形成装置。

IPC (4)：

B05D 3/00 , B05C 5/00 , G02B 5/20 , B05D 1/26

FI (4)：

B05D3/00 D , B05C5/00 101 , G02B5/20 101 , B05D1/26 Z

F-Term (32)：

2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA55 , 2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC73 , 4D075AC78 , 4D075AC88 , 4D075AC91 , 4D075AC93 , 4D075CA47 , 4D075CB07 , 4D075CB38 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EA33 , 4D075EC11 , 4D075EC17 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AA16 , 4F041AB01 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA22 , 4F041BA34 , 4F041BA38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

パターン形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-172618 Applicant：大日本印刷株式会社

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