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J-GLOBAL ID:200903004816076391

研磨皿の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 増田 達哉 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999027911
Publication number (International publication number):2000225549
Application date: Feb. 04, 1999
Publication date: Aug. 15, 2000
Summary:
【要約】【課題】小サイズの研磨面の形成が可能であり、生産性が高く、また研磨の際に研磨剤を用いる必要がなく、研磨作業を軽減することがでる。【解決手段】本発明は、研磨面4として球面よりなる湾曲凹面を有する研磨皿を製造する研磨皿の製造方法である。研磨皿を製造するための被加工材1中には、例えばダイヤモンド砥粒のような研磨材が含まれている。まず、被加工材1の先端面の研磨面4を形成する部位に下穴を形成する。この被加工材1を外型7の挿入空間73に入れ、その下穴に球体6を載置する。次いで、もう1つの被加工材1を挿入空間73に挿入し、加圧する。これにより、球体6が両被加圧材1の下穴内にもぐりこみ、球体6の表面形状が転写され、球面よりなる湾曲凹面の研磨面4が形成される。この研磨面4は、1回の加圧工程で両被加工材1に対し同時に形成される。
Claim (excerpt):
研磨面として球面よりなる湾曲凹面を有する研磨皿を製造する研磨皿の製造方法であって、研磨材を含有する被加工材の前記研磨面を形成する部位に球体を設置し加圧して該球体の表面形状を転写することにより前記研磨面を形成することを特徴とする研磨皿の製造方法。
IPC (5):
B24B 13/01 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/06 ,  B24D 7/18
FI (5):
B24B 13/01 ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/06 A ,  B24D 7/18 F
F-Term (6):
3C049AA03 ,  3C049CA01 ,  3C049CB03 ,  3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BA21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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