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J-GLOBAL ID：200903004821501815

表面検査装置

Inventor： 高橋 一平
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小林 和憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995067946
Publication number (International publication number)：1996261949
Application date： Mar. 27, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 検査速度を低下させることなく、欠陥の検出精度を向上させる。【構成】 一対の遮光板13a,13bは、投光器11とフイルム17との間に配置されており、それぞれ検査光25の光路内に上下方向から侵入して検査光25の走査方向に沿って直線状に延びたスリット開口13cを形成している。なおスリット開口13cの開口幅は、検査光25のビーム径に対して(1/10)〜(2/3)の範囲内に設定するのが好ましい。また一対の遮光板13a,13bは、フイルム17の表面からの距離が100mm以内に配置するのが好ましい。

Claim (excerpt)：

走査機構を内蔵した投光器により、連続走行する被検査体に対してその幅方向に走査する検査光を照射し、被検査体で反射又は透過した検査光を受光器で受け、この受光器からの出力に基づいて欠陥部の有無を検査する表面検査装置において、前記投光器と被検査体との間に、検査光の走査方向に沿って直線状に延びたスリット開口を有する遮光板を配置し、前記スリット開口を通った検査光により被検査体が走査されるように構成するとともに、被検査体の走行方向における前記スリット開口の開口幅を、投光器からの検査光のビーム径よりも狭くしたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/84

FI (2)：

G01N 21/89 A ,  G01N 21/84 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-160645
  
• 特開昭60-128335
  
• 特開昭64-050174