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J-GLOBAL ID：200903004821650217

テープ伸張装置

Inventor： 蔵藤 健二
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 古谷 栄男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991180972
Publication number (International publication number)：1993029440
Application date： Jul. 22, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】使用済みのウェハーリングの収納効率を高くするテープ伸張装置を提供することを目的とする。【構成】ウェハーマガジン10にウェハーリング13を収納する前に、テープ伸張装置のノズル16から窒素ガス等の温風を噴出する。かかる温風が伸張性テープ15に吹き掛けられることにより伸張性テープ15は収縮する。伸張性テープ15を強制的に収縮させてから、ウェハーマガジン10にウェハーリング13を収納することにより、収納効率を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

周縁を合成部材によって保持された伸張性テープを伸張するための装置であって、一方側から、伸張性テープに接する第1の押圧部材、他方側から伸張性テープ周縁の剛性部材に接する第2の押圧部材を備え、第1の押圧部材によって伸張性テープを押圧するとともに、第2の押圧部材によって剛性部材を押圧して、伸張性テープを伸張する装置において、第1の押圧部材に気体噴出孔を有することを特徴とするテープ伸張装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭58-039029
  
• 特開昭61-121453
  
• 特開昭62-119007