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J-GLOBAL ID：200903004826232464

光化学ホールバーニング測定装置及び光偏波ホールバーニング測定装置

Inventor： 吉田 春雄
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995142512
Publication number (International publication number)：1996313600
Application date： May. 17, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 光化学ホールバーニング及びこれに起因して生じる光偏波ホールバーニングの測定器を提供する。【構成】 本発明は、光源11から射出されるコヒーレント光ビームをビームスプリッタ171 で2分岐し、一の光ビームを光周波数シフタ16で光周波数をシフトして参照光ビームとする。他の光ビームは始めに光スイッチ12で共鳴光パレス列に変換し、円偏光変換器13で円偏波にしてDUTに照射する。DUTで生じるフォトンエコーのFID信号と前記参照光ビームとをビームスプリッタ172 で合波し、前記フォトンエコーのFID信号をヘテロダイン検出し、A/D変換後に演算部25でフーリエ変換して表示する構成とする。

Claim (excerpt)：

コヒーレント光ビーム(6)を発生する光源(11)と、上記光源(11)からのコヒーレント光ビーム(6)を2分岐するビームスプリッタ(171 )と、上記2分岐された一の光ビームの光周波数をシフトして参照光ビーム(7)を生成する光周波数シフタ(16)と、上記2分岐された他の光ビームをタイミングパルス発生器(20)からの制御信号で光パルス列に変換する光スイッチ(12)と、上記光スイッチ(12)からの光パルス列の光ビームを円偏光ビーム(8)に変換する円偏光変換器(13)と、上記円偏光ビーム(8)の光パルス列をDUTに照射して得る上記DUTのフォトンエコーのFID信号(9)と上記光周波数をシフトした参照光ビーム(7)とを重ね合わせて合成光ビーム(10)を生成するビームスプリッタ(172)と、上記ビームスプリッタ(172 )で生成された合成光ビーム(10)を光電変換する光検出器(22)と、上記光検出器(22)の出力アナログ電圧をA/D変換するA/D変換器(24)と、上記A/D変換器(24)で得られたフォトンエコーのFID信号(9)のデジタル電圧値をフーリエ変換する演算部(25)と、を具備することを特徴とする光化学ホールバーニング測定装置。

IPC (4)：

G01R 31/302 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/21 ,  G02F 1/35

FI (4)：

G01R 31/28 L ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/21 Z ,  G02F 1/35