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J-GLOBAL ID：200903004842100993
感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991253523
Publication number (International publication number)：1993094017
Application date： Oct. 01, 1991
Publication date： Apr. 16, 1993
Summary：
【要約】【構成】 (a) 酸により分解し得る基を少なくとも1個有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物0.5〜80wt%、(b) 下記一般式(I)で示されるジスルホン化合物0.01〜20wt%、及び(c) 水不溶でアルカリ水に可溶な樹脂5〜99.49wt%からなる組成物において、上記(a) の化合物が分子量2,000 以下の低分子化合物で、沸点が150°C以上であり、該組成物の1μm の皮膜の光学濃度が248nmで1.4以下であり、且つ248nm光照射により248nmの光学濃度が未照射時の値よりも低下することを特徴とするポジ型感光性組成物。 R1 -SO2 -SO2 -R2 (I)式中R1 、R2 は同一でも相異していてもよく、置換又は未置換のアルキル、アルケニル、又はアリール基を示す。【効果】 高感度であり、短波長光源に対する適性があり、解像力に優れている。
Claim (excerpt)：
(a) 酸により分解し得る基を少なくとも1個有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物0.5〜80wt%、(b) 下記一般式(I)で示されるジスルホン化合物0.01〜20wt%、及び(c) 水不溶でアルカリ水に可溶な樹脂5〜99.49wt%からなる組成物において、上記(a) の化合物が分子量2,000 以下の低分子化合物で、沸点が150°C以上であり、該組成物の1μm の皮膜の光学濃度が248nmで1.4以下であり、且つ248nm光照射により248nmの光学濃度が未照射時の値よりも低下することを特徴とするポジ型感光性組成物。 R1 -SO2 -SO2 -R2 (I)式中R1 、R2 は同一でも相異していてもよく、置換又は未置換のアルキル、アルケニル、又はアリール基を示す。
IPC (3)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
Cited by examiner (7)
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