電子線バイプリズム装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青木健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000147818
Publication number (International publication number)：2001325913
Application date： May. 19, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】線電極の交換作業をより一層簡単にかつ迅速にできるとともに、線電極の取扱いをより簡単にできる電子線バイプリズム装置を提供する。【解決手段】ロータ9の一対の円形孔9f,9gにそれぞれ嵌合固定された円筒状電気絶縁部材16,17内に、それぞれ第2の接点部材22,23が移動可能に嵌挿される。第2の接点部材22,23はそれぞれ導線20,21を介して第1の接点部材18,19に接続され、また第1の接点部材18,19に電圧印加用リードプレート13,14が上方から接触する。環状絶縁部材26、一対の線電極保持部材11,12、線電極4aおよびディスク状絶縁部材27が予め一体化されてカートリッジとして形成され、このカートリッジがロータ9の下面に取り外し可能に取り付けられ、第2の接点部材22,23が線電極保持部材11,12に接触する。これにより、線電極4aがロータ9に分離可能に取り付けられる。

Claim (excerpt)：

ホルダに回転可能に支持されたロータと、このロータに取り付けられて電子線を照射される線電極とを少なくとも備え、この線電極に電子線が照射されることで電子線の干渉縞を形成するとともに、この干渉縞を試料像に重ね合わされてホログラムを形成するようになっている電子線バイプリズム装置において、前記ロータが前記ホルダに支持された状態で前記線電極が前記ロータから取り外し可能とされていることを特徴とする電子線バイプリズム装置。

IPC (6)：

H01J 37/295 , G01N 23/04 , G21K 1/00 , G21K 1/06 , G21K 1/087 , H01J 37/04

FI (6)：

H01J 37/295 , G01N 23/04 , G21K 1/00 E , G21K 1/06 B , G21K 1/087 Z , H01J 37/04 Z

F-Term (17)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001DA09 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001HA20 , 2G001JA02 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001JA14 , 2G001KA11 , 5C030BB07 , 5C030BB17

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