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J-GLOBAL ID：200903004852160200

X線回折像動的露光装置

Inventor： 川崎 宏一 ,  菊池 利治
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992130007
Publication number (International publication number)：1993296945
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 イメージングプレートを用い、X線回折アークの時間変化の動的露光及び直接極点図の露光を高S/N比で行う装置を提供する。【構成】 ゴニオメータアーム13上のイメージングプレート支持台11に取り付けたイメージングプレート10に、回折X線9をスクリーン14によって制限し露光させながら、ゴニオメータアーム13を単独で、またはゴニオメータアーム13と試料6とを同期させて回転させることにより、イメージングプレート10上にX線回折像を露光する。【効果】 イメージングプレート10の感光面に、X線回折アークの時間変化が高S/N比で露光できる。また、直接極点図を短時間で高S/N比で露光できる。

Claim (excerpt)：

試料と同一の回転中心を持つゴニオメータアームと、このゴニオメータアーム上に取り付けられたイメージングプレート支持台と、前記試料と前記イメージングプレート支持台との間に設けられ、回折X線アークの形状に対応する線状の開口部を有するスクリーンとを具備し、前記イメージングプレート支持台に取り付けたイメージングプレートに、前記スクリーンによって制限した回折X線を露光させながら、前記ゴニオメータアームを回転し、前記イメージングプレート上にX線回折像の動的変化を露光するように構成されていることを特徴とするX線回折像動的露光装置。