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J-GLOBAL ID：200903004856443591
電子線照射装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997267610
Publication number (International publication number)：1999109099
Application date： Oct. 01, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ビーム電流の高出力化及び低出力領域での安定化を図ることができる電子線照射装置を提供する。【解決手段】 グリッド16は、熱電子源15から放出された熱電子を加速空間に取り出すためのものであり、熱電子源15に対向して配置される。制御電極17は、熱電子源15に対してグリッド16と反対側に配置される。グリッド用電源60は、熱電子源15に対して高い電位のグリッド電圧をグリッド16に供給する。制御用電源70は、熱電子源15と制御電極17との間に印加する制御電圧を供給する。制御用電源70が、熱電子源15に対して高い電位の制御電圧を制御電極17に印加すると、熱電子源15からより多くの熱電子を引き出すことができ、一方、熱電子源15に対して低い電位の制御電圧を制御電極17に印加すると、熱電子源15からの熱電子の放出を抑制することができる。
Claim (excerpt)：
熱電子源が放出する熱電子を加速空間で加速して電子線として取り出し、前記電子線を被照射物に照射する電子線照射装置において、前記熱電子源に対向して配置された、前記熱電子を前記加速空間に取り出すためのグリッドと、前記熱電子源に対して高い電位のグリッド電圧を前記グリッドに供給するグリッド用電源と、前記熱電子源に対向して且つ前記グリッドと重ならないように配置された制御電極と、前記熱電子源と前記制御電極との間に印加する制御電圧を供給する制御用電源と、を具備することを特徴とする電子線照射装置。
FI (2)：
G21K 5/04 E
, G21K 5/04 F
