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J-GLOBAL ID：200903004858023581
ジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
舘野 千惠子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992150010
Publication number (International publication number)：1993319826
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 チタン酸ジルコン酸鉛薄膜をゾルーゲル法で作製する際に安定な前駆体溶液が得られ、特に500°C以下の低温でもペロブスカイト単相のチタン酸ジルコン酸鉛薄膜の作製を可能にする方法を提供する。【構成】 酢酸鉛あるいは鉛アルコキシドとジルコニウムアルコキシドとチタンアルコキシドとを低級アルコール中で混合、反応させて得られた溶液にエチレングリコールのような多価アルコールあるいはその誘導体を添加した後濃縮して前駆体溶液を作製する。前駆体溶液を基板に塗布し乾燥させた後に、オゾン-酸素混合気流中を用い、最高温度を450°C以上とする加熱焼成する工程を少なくとも一回以上繰り返すことによって所望の膜厚を有するジルコン酸チタン酸鉛薄膜を得る。特に450°C以上で加熱処理を行うと、ジルコン酸チタン酸鉛のペロブスカイト相が現われる。
Claim (excerpt)：
酢酸鉛あるいは鉛アルコキシドと、ジルコニウムアルコキシドと、チタンアルコキシドとをそのモル比が1:(1-x):x(ただし0<x<1)となるように低級アルコール中で混合・反応させて得られた溶液に、前記低級アルコールと共沸混合物を作らない多価アルコールまたはその誘導体を添加した後、濃縮して前駆体溶液を作製する工程と、該前駆体溶液を基板に塗布し乾燥させた後、加熱焼成する工程を少なくとも一回以上繰り返すことよりなるジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法であって、加熱焼成工程として450°C以上の温度でオゾン-酸素混合気流中で加熱焼成を行うことを特徴とするジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法。
IPC (2)：
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