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J-GLOBAL ID：200903004861936539

ネガ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 岩永 伸一郎 ,  大田 芳久 ,  捫垣 和美
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997074716
Publication number (International publication number)：1998254135
Application date： Mar. 12, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【目的】 通常の濃度のアルカリ現像液に適用でき、かつ通常のライン・アンド・スペースパターンにおいて、高解像度で矩形のレジストパターンを形成することができ、感度、現像性、寸法忠実度等にも優れるとともに、特に孤立ラインパターンにおける解像度およびパターン形状が優れた化学増幅型ネガ型レジストとして好適なネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が70〜95モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(ロ)オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物からなる架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有する。

Claim (excerpt)：

(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が70〜95モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(ロ)オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物からなる架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 601 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/038 601 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R