熱可塑性ポリウレタン発泡体およびその製造方法並びに該発泡体からなる研磨パッド

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001372336
Publication number (International publication number)：2002371154
Application date： Dec. 06, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】均一な発泡構造を有するポリウレタン発泡体であって、被研磨面の平坦性および平坦化効率の向上が達成でき、かつ使用時間を従来のものより延長することができる、研磨パッドとして有用に使用することができるポリウレタン発泡体を提供する。【解決手段】高分子ポリオール、有機ジイソシアネートおよび鎖伸長剤を反応させて得られる、イソシアネート基由来の窒素原子の含有率が6重量%以上であり、かつ50°Cにおける動的粘弾性率E’50が5×109dyn/cm2以上である熱可塑性ポリウレタンからなり、密度が0.5〜1.0g/cm3、気泡サイズが5〜200μm、硬度(JIS-C硬度)が90以上であるポリウレタン発泡体。

Claim (excerpt)：

高分子ジオール、有機ジイソシアネートおよび鎖伸長剤を反応させて得られる、イソシアネート基由来の窒素原子の含有率が6重量%以上であり、かつ50°Cにおける動的粘弾性率E’50が5×109dyn/cm2以上である熱可塑性ポリウレタンからなり、密度が0.5〜1.0g/cm3、気泡サイズが5〜200μm、硬度(JIS-C硬度)が90以上であるポリウレタン発泡体。

IPC (9)：

C08J 9/12 CFF , B24B 37/00 , B29C 45/00 , B29C 47/00 , H01L 21/304 622 , B29K 75:00 , B29K105:04 , B29L 31:58 , C08L 75:04

FI (9)：

C08J 9/12 CFF , B24B 37/00 C , B29C 45/00 , B29C 47/00 , H01L 21/304 622 F , B29K 75:00 , B29K105:04 , B29L 31:58 , C08L 75:04

F-Term (42)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 3C058DA17 , 4F074AA78 , 4F074BA32 , 4F074BA33 , 4F074CA22 , 4F074CA23 , 4F074CA26 , 4F074CC04X , 4F074CC22X , 4F074CC32X , 4F074CC34X , 4F074DA02 , 4F074DA03 , 4F074DA56 , 4F206AA31 , 4F206AB02 , 4F206AG20 , 4F206AH81 , 4F206AR024 , 4F206AR064 , 4F206JA04 , 4F206JF04 , 4F206JL02 , 4F207AA31 , 4F207AB02 , 4F207AG20 , 4F207AH81 , 4F207AR02 , 4F207AR06 , 4F207KA01 , 4F207KA07 , 4F207KA11 , 4F207KA20 , 4F207KF03 , 4F207KF04 , 4F207KK13 , 4F207KL84

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

研磨材用ポリウレタン系樹脂組成物及びその発泡体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-053679 Applicant：三菱化学株式会社

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