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J-GLOBAL ID：200903004906137055

コルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材

Inventor： 福田 承生 ,  島村 清史 ,  宮沢 良和
Applicant, Patent owner： 福田 承生 ,  株式会社オプトロン
Agent (1)： 岡部 正夫 (外13名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999168153
Publication number (International publication number)：2000356701
Application date： Jun. 15, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 潮解性、へき開性が低く、高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材を提供することを目的とする。また、限りなく0に近い複屈折率を有する真空紫外領域用光学部材を提供することを目的とする。さらに、高い耐久性と薄膜特有の波長特性を実現できる光学部材用コーティング材を提供する。【解決手段】 式:LiM<SB>x</SB>N<SB>(1-x)</SB>AlF<SB>6</SB> (式中、MおよびNは、Ca、Sr、Mg、BaおよびBeからそれぞれ独立して選択され、また、xは0<x<1の関係を満たす。)で表されるコルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材、および、このフッ化物混晶からなる光学部材用コーティング材。

Claim (excerpt)：

式:LiM<SB>x</SB>N<SB>(1-x)</SB>AlF<SB>6</SB> (式中、MおよびNは、Ca、Sr、Mg、BaおよびBeからそれぞれ独立して選択され、また、xは0<x<1の関係を満たす。)で表されるコルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材。

IPC (4)：

G02B 1/02 ,  C01F 7/54 ,  C30B 29/12 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G02B 1/02 ,  C01F 7/54 ,  C30B 29/12 ,  H01L 21/30 515 D

F-Term (18)：

4G076AA05 ,  4G076AA18 ,  4G076AB04 ,  4G076BA17 ,  4G076BC08 ,  4G076CA01 ,  4G076CA34 ,  4G076CA40 ,  4G076DA11 ,  4G077BE02 ,  4G077CF10 ,  4G077EC09 ,  4G077HA01 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB22