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J-GLOBAL ID：200903004914202400

ガリウムイオン源及びその製造方法

Inventor： 工藤 直弥 ,  角田 勝義 ,  照井 良典
Applicant, Patent owner： 電気化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997178317
Publication number (International publication number)：1999025874
Application date： Jul. 03, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】室温下で長時間動作可能なガリウムイオン源を提供する。【解決手段】タングステン電極の少なくとも側面をアルカリ性のフェロシアン化カリウム水溶液でエッチングして、タングステン電極の側面部から検出されるタングステンとガリウムのそれぞれの規格化されたX線強度の比が2.0以下であるガリウムイオン源。

Claim (excerpt)：

イオン化すべきガリウムを貯蔵する貯蔵部と該貯蔵部からガリウムが供給されるタングステン電極とを有するガリウムイオン源であって、該タングステン電極の側面部から検出されるタングステンとガリウムのそれぞれの規格化されたX線強度の比が2.0以下であることを特徴とするガリウムイオン源。

IPC (3)：

H01J 27/26 ,  C23F 1/38 ,  H01J 37/08

FI (3)：

H01J 27/26 ,  C23F 1/38 ,  H01J 37/08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平3-182038
  

Cited by examiner (1)

• 特開平3-182038