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J-GLOBAL ID：200903004922467880
電子顕微鏡等の試料ホルダ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993005828
Publication number (International publication number)：1994318445
Application date： Jan. 18, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 簡単な構成で、かつ試料ダメージを少なくして生に近い状態で試料観察することを可能にする。【構成】 試料台に載置され、薄膜のシール材が貼られた試料を挟み込む一対のシートメッシュと、該シートメッシュの縁をシールするシール部材とを備え、前記シートメッシュ間を電子顕微鏡の真空と隔離して試料を水雰囲気、空気雰囲気の状態で観察することを可能にしたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
試料台に載置され、薄膜のシール材が貼られた試料を挟み込む一対のシートメッシュと、該シートメッシュの縁をシールするシール部材とを備え、前記シートメッシュ間を真空と隔離するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡等の試料ホルダ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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