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J-GLOBAL ID：200903004928851401
基板保持盤
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992070339
Publication number (International publication number)：1993235151
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基板との間に異物を挟みこむ危険性が少いうえに吸着力の不均一によって基板の平坦度を損なうことのない基板保持盤を実現する。【構成】 本体1はその外周に沿って互に間隔をおいて配設された3個のリング状支持面2〜4からなる第1の支持面を有し、該第1の支持面の内側の凹所1aには点在する複数の斑状支持面5からなる第2の支持面が設けられる。前記リング状支持面2〜4の間の各環状溝7,8および第1の支持面の内側の凹所1aは、それぞれ貫通孔7a,8aおよび5aを介して公知の排気手段に接続され、本体1に載置されたウエハ(図示せず)を吸着する。リング状支持面2〜4はウエハの外周部分の平坦度を損なうことなくこれを支持し、各斑状支持面5は小面積であるためにウエハとの間に異物を挟みこむ可能性が少い。
Claim (excerpt)：
平板状の本体と、前記本体の外周縁に沿って互に間隔をおいて配設された少くとも2個のリング状支持面からなる第1の支持面と、前記第1の支持面の内側の凹所に点在する小面積の複数の斑状支持面からなる第2の支持面からなり、各リング状支持面の間の環状溝および前記第1の支持面の内側の凹所に吸着力を作用させるように構成したことを特徴とする基板保持盤。
IPC (4)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65G 49/07
, H01L 21/027
