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J-GLOBAL ID：200903004941030409

フッ化カルシウム結晶製造方法およびレンズ

Inventor：
大場 まどか

About 大場 まどか

, 
安立 伸夫

About 安立 伸夫

, 
塩澤 正樹

About 塩澤 正樹


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998291985
Publication number (International publication number)：2000119098
Application date： Oct. 14, 1998
Publication date： Apr. 25, 2000
Summary：
【要約】【課題】 紫外または真空紫外域の光に対する光透過性に優れるフッ化カルシウム結晶を作製することができるフッ化カルシウム結晶製造方法の提供。【解決手段】 フッ化カルシウム原料に脱酸素剤を添加して脱酸素化することにより前処理品を作製する第1の工程と、前処理品を融解して結晶化することによりインゴットを得る第2の工程とを有するフッ化カルシウム結晶製造方法において、フッ化カルシウム原料,前処理品およびインゴットの少なくともいずれか1つのに関して脱酸素剤に含まれるの主要な成分である金属元素を被定量元素として定量分析し、その分析値に基づいて各工程を管理する。例えば、脱酸素剤にフッ化鉛を使用した場合には、フッ化鉛にフッ化カルシウム原料、前処理品、インゴットの少なくともいずれか1つに含まれる鉛の含有量を定量分析して管理する。
Claim 1：
フッ化カルシウム原料に脱酸素剤を添加して脱酸素化することにより前処理品を作製する第1の工程と、前記前処理品を融解して結晶化することによりインゴットを得る第2の工程とを有するフッ化カルシウム結晶製造方法において、前記フッ化カルシウム原料,前処理品およびインゴットの少なくともいずれか1つに関して、前記脱酸素剤の主要な成分である金属元素を被定量元素として定量分析し、その分析値に基づいて前記各工程を管理することを特徴とするフッ化カルシウム結晶製造方法。
IPC (4)：
C30B 29/12 ,  C01F 11/22 ,  G01N 21/73 ,  G02B 1/02
FI (4)：
C30B 29/12 ,  C01F 11/22 ,  G01N 21/73 ,  G02B 1/02
F-Term (15)：
2G043AA01 ,  2G043BA01 ,  2G043CA03 ,  2G043DA02 ,  2G043EA08 ,  2G043GA07 ,  2G043NA11 ,  4G076AA07 ,  4G076AB04 ,  4G076AC10 ,  4G076BA11 ,  4G076CA40 ,  4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CB02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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