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J-GLOBAL ID：200903004941786082
干渉顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031062
Publication number (International publication number)：1993232384
Application date： Feb. 18, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】干渉像のコントラスト設定及び調整を容易且つスムーズに行える。【構成】可干渉光を発する光源17と、この光のx偏波とy偏波の位相差を変える偏波可変素子18とを有する。微分干渉顕微鏡では、光源からの光をウォラストンプリズム2でx偏波とy偏波に分離し、試料5を通過させてウォラストンプリズム7で合成する。位相差顕微鏡では、試料5で分離する透過光と回折光を複合偏光板68で夫々x偏波とy偏波だけを透過させる。そして、夫々偏光板8によりCCD9上に干渉像を結像させる。偏波制御装置28で偏波可変素子18を制御して光の偏波状態を変えて、像の明暗を変化させる。
Claim (excerpt)：
光源と、該光源からの光を常光と異常光とに分離する分波手段と、該常光と異常光とが試料から射出された後で該常光と異常光とを重ね合わせる合波手段と、偏光軸が常光と異常光の偏波方向に対して所定の角度を以て配置された偏光板と、該偏光板を透過した光を検出する検出手段とを有する微分干渉顕微鏡において、前記光源から分光手段までの光路上又は前記合波手段から検出手段までの光路上、に偏波状態を変化させる偏波状態可変手段を配置したことを特徴とする微分干渉顕微鏡。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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