容量検出型加速度センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：丹羽宏之 , 野口忠夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005179287
Publication number (International publication number)：2006349613
Application date： Jun. 20, 2005
Publication date： Dec. 28, 2006
Summary：

【課題】強い衝撃耐性を有し、高感度な小型の容量検出型加速度センサを低コストで提供する。【解決手段】重り部4と前記重り部を支える梁5と前記梁を支持する固定部6とからなる部品でありかつ前記重り部の表面に可動電極7を有する可動電極部品1と、前記可動電極7に対して所定の間隔をもって対向配置された固定電極11を有する固定電極部品3とを備えた容量型加速度センサにおいて、前記梁5がシリコーンゴムを母材として形成されている容量検出型加速度センサにより前記課題を解決する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

重り部と前記重り部を支える梁と前記梁を支持する固定部とからなる部品でありかつ前記重り部の表面に可動電極を有する可動電極部品と、前記可動電極に対して所定の間隔をもって対向配置された固定電極を有する固定電極部品とを備えた容量型加速度センサにおいて、前記梁がシリコーンゴムを母材として形成されていることを特徴とする容量検出型加速度センサ。

IPC (1)：

G01P 15/125

FI (1)：

G01P15/125 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

半導体加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-204597 Applicant：松下電工株式会社
静電容量型加速度センサの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-182023 Applicant：沖電気工業株式会社
容量型三軸加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-305176 Applicant：日本電気株式会社

Cited by examiner (4)

静電容量式加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-025127 Applicant：ニッタ株式会社
力検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-147853 Applicant：ニッタ株式会社, 株式会社ワコー
加速度センサ及びそれを使用したエアバッグ装置並びに車体制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-063912 Applicant：株式会社日立製作所

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