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J-GLOBAL ID：200903004955145012

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 杉浦 誠 ,  遠藤 昌之
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997213072
Publication number (International publication number)：1999052568
Application date： Aug. 07, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 感度、現像性、残膜率に優れるとともに、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、可視光領域における透明性に優れたネガレジスト型感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】[A](a-1)不飽和カルボン酸の重合単位、(a-2)下記式[I]【化2】(式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子または炭素数1〜5のアルキル基であり、R4は炭素数1〜5のアルキル基であり、mおよびnは互に独立に1〜5の整数である。)で表される化合物の重合単位並びに必要に応じて(a-3)上記不飽和カルボン酸および式[I]の化合物と共重合しうる他のラジカル重合性化合物の重合単位を含有する共重合体(以下、「共重合体[A]」ともいう)、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、および[C]光重合開始剤からなる感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

[A](a-1)不飽和カルボン酸の重合単位、(a-2)下記式[I]【化1】(式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子または炭素数1〜5のアルキル基であり、R4は炭素数1〜5のアルキル基であり、mおよびnは互に独立に1〜5の整数である。)で表される化合物の重合単位、並びに必要に応じて(a-3)上記不飽和カルボン酸および式[I]の化合物と共重合しうる他のラジカル重合性化合物の重合単位、を含む共重合体、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、および[C]光重合開始剤とからなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/30 502 R