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J-GLOBAL ID:200903004961328447

ガスレーザ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999027048
Publication number (International publication number):2000223757
Application date: Feb. 04, 1999
Publication date: Aug. 11, 2000
Summary:
【要約】【課題】 レーザガスに対する高い耐圧を有し、レーザガスの圧力を高めることで強いパワーを得ることが可能なガスレーザを提供する。【解決手段】 レーザチャンバ2内に大気圧よりも高い圧力PLのレーザガスを封止し、そのレーザガスを励起してレーザ光11を発振させるガスレーザ1において、内部にレーザガスの圧力PLよりも低く、かつ大気圧よりも高い圧力PNの不活性ガスを充填した与圧チャンバ14を備え、この与圧チャンバ14の内部にレーザチャンバ2を収納するか、又はこの与圧チャンバ51によって、少なくともレーザ光11の出射部7B,9Bと、又はさらにレーザチャンバ2に装着されてレーザガスを励起する放電回路3とのレーザチャンバ2外側を覆っている。
Claim (excerpt):
レーザチャンバ(2)内に大気圧よりも高い圧力(PL)のレーザガスを封止し、そのレーザガスを励起してレーザ光(11)を発振させるガスレーザ(1)において、内部にレーザガスの圧力(PL)よりも低く、かつ大気圧よりも高い圧力(PN)の不活性ガスを充填した与圧チャンバ(14)を備え、この与圧チャンバ(14)の内部にレーザチャンバ(2)を収納したことを特徴とするガスレーザ(1)。
F-Term (8):
5F071AA04 ,  5F071AA06 ,  5F071DD08 ,  5F071EE01 ,  5F071EE04 ,  5F071GG05 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ05

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