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J-GLOBAL ID：200903004988542246

試料の洗浄方法

Inventor： 畑田 伸二 ,  玉谷 泉
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993099202
Publication number (International publication number)：1994306660
Application date： Apr. 26, 1993
Publication date： Nov. 01, 1994
Summary：

【要約】【構成】 反応性薬液の蒸気と前記反応性薬液を希釈する希釈用溶媒の蒸気とを用いて試料上の不要物を除去する試料の洗浄方法において、前記希釈用溶媒としてアルコールを用いる試料の洗浄方法。【効果】 パーティクルの発生を伴わずに、除去対象物を均一に、しかも選択性よく除去することができる。

Claim (excerpt)：

反応性薬液の蒸気と前記反応性薬液を希釈する希釈用溶媒の蒸気とを用いて試料上の不要物を除去する試料の洗浄方法において、前記希釈用溶媒としてアルコールを用いることを特徴とする試料の洗浄方法。

IPC (3)：

C23G 5/032 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/306