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J-GLOBAL ID：200903004991870971

静電容量式圧力センサ及びその製造方法

Inventor： 文字 秀人 ,  中根 伸一 ,  渥美 徹 ,  木全 國雄
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994230990
Publication number (International publication number)：1996094471
Application date： Sep. 27, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 静電容量式圧力センサの小型化・高性能化をはかる。【構成】 表面に第一の電極4が形成された絶縁性の固定基板1と、表面に第二の電極5が形成されたガラスからなるダイアフラム2とを備えている。また、第一の電極4と第二の電極5とが対向して配置され固定基板1とダイアフラム2とは一体接合されている。これによって固定基板1とダイアフラム2とは極めて強固に接着され剥離することはない。

Claim (excerpt)：

表面に第一の電極が形成された絶縁性の固定基板と、表面に第二の電極が形成されたガラスからなるダイアフラムとを備え、前記第一の電極と前記第二の電極とはギャップ部を介して対向配置し前記固定基板と前記ダイアフラムとを一体接合した静電容量式圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84