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J-GLOBAL ID：200903004998128162

角速度センサー

Inventor： ピーター・エドワード・マイケル・フレア ,  ラッセル・ウィリアム・クラドック
Applicant, Patent owner： ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156337
Publication number (International publication number)：1994034649
Application date： Jun. 03, 1993
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 角速度センサーとその製造方法を提供する。【構成】 角速度センサーは組合された歯(14、16)と共に先端(5、6)を構成するためにエッチングしたシリコンウエハ(10)を備える。上記先端(5、6)を先端(5、6)間に静電力をつくりだす上で好適な駆動信号を付与することによってウエハ(10)面内で励起振動させる。先端(5、6)のウエハ面からの回転は、先端(5、6)のサポート(18)上の、例えば、圧抵抗器のような好適な検出器により検出される。

Claim (excerpt)：

第1と第2の組合せ先端を構成するためにエッチングしたシリコンウエハと、前記第1と第2の先端をウエハと共面内でかつ互いに逆相の振動に励起する手段と、前記第1と第2の先端のウエハ面からの回転を検出する検出手段と、から成る角速度センサー。

IPC (2)：

G01P 9/04 ,  G01C 19/56