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J-GLOBAL ID：200903005001017915

真空吸気ガスの濾過装置

Inventor： 白石 正治
Applicant, Patent owner： 東芝ケミカル株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995187336
Publication number (International publication number)：1997029042
Application date： Jul. 24, 1995
Publication date： Feb. 04, 1997
Summary：

【要約】【目的】 真空チャンバの排気ガスから効率的にミストを収集除去し、真空ポンプ内にミストが入り込むのを防止する。【構成】 真空ポンプ油2を上部に空間を残すようにして貯溜した容器内の前記空間を、複数のドラム7a、7b、7c、7dと真空ポンプ油2の液面とによって、吸気管3の開口3aを含む第1の空間Aと排気管5の開口5aを含む第2の空間Bとに隔離するように構成する。第1の空間Aに導入された排気ガスは両端の各ドラム周面に設けられた凹凸部8によって真空ポンプ油中に誘導、拡散される。この結果、排気ガス中に含まれるミストが真空ポンプ油中に混入し、第2の空間Bに位置する真空ポンプ油の液面よりミストの取り除かれた排気ガスが浮上し、排気管5を通じて真空ポンプ6に吸引される。

Claim (excerpt)：

真空ポンプ油を上部に空間を残すようにして貯溜した容器と、一端が前記容器の前記空間内に開口し、他端が前記真空チャンバ内に開口した吸気管と、一端が前記容器の前記空間内に開口し、他端が前記真空ポンプ内に開口した排気管と、前記容器の前記空間を前記吸気管の開口を含む第1の空間と前記排気管の開口を含む第2の空間とに隔離するように前記容器内に互いに平行に且つ隣り合うものどうし周面を近接させて並設された複数の回転自在なドラムであって、少なくとも両端の前記ドラムはその一部が前記真空ポンプ油の液面下に位置するように配置された複数のドラムと、前記各ドラムの周面に各々、隣り合うドラムと回転時互いに噛み合うように設けられた凹凸部と、前記ドラムを駆動する駆動手段とを具備することを特徴とする真空吸気ガスの濾過装置。