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J-GLOBAL ID：200903005001899730

脱気装置

Inventor： 大谷 肇 ,  有吉 俊彦 ,  東條 泰久 ,  西井 弘行
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Agent (1)： 松月 美勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998162941
Publication number (International publication number)：1999333206
Application date： May. 26, 1998
Publication date： Dec. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】気体透過性チュ-ブを用いて脱気処理を行う場合、液漏れがあっても装置を停止するまでの間においても、安定な脱気処理を行い得る脱気装置を提供する。【解決手段】被脱気液体流入口11と流出口12を有する減圧チャンバ-1に気体透過性チュ-ブ2を収容し、該チュ-ブ2の両端を前記流入口11と流出口12に連結し、前記チャンバ-内底部13に達する真空引き用管3を前記チャンバ-1に取付けた。

Claim 1：

被脱気液体流入口と流出口を有する減圧チャンバ-に気体透過性チュ-ブを収容し、該チュ-ブ両端を前記流入口と流出口に連結し、前記チャンバ-内底部に達する真空引き用管を前記チャンバ-に取付けたことを特徴とする脱気装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 脱気モジュールの液漏れ検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-269490   Applicant：三浦工業株式会社
• 処理液供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338235   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

Cited by examiner (2)

• 脱気モジュールの液漏れ検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-269490   Applicant：三浦工業株式会社
• 処理液供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338235   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社