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J-GLOBAL ID：200903005012364455

立体像観察用走査電子顕微鏡

Inventor： 飯田 信雄
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991291346
Publication number (International publication number)：1993128989
Application date： Nov. 07, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 立体像を得たい領域のサーチを短時間に行い得る立体像観察用走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 コンピュータ11は、偏向回路12を介して成形偏向器5を制御し、比較的径の大きな電子ビームを第2成形アパーチャ6から取り出す。コンピュータ11は、励磁電源13を制御し、多数段階に対物レンズ11の励磁を変化させる。コンピュータ11は、偏向回路14を介して走査偏向器9を制御しており、電子ビームは、この走査偏向器9によって対物レンズ11の各励磁強度ごとに試料上の所定領域を走査する。励磁強度の変化ステップと走査のステップは、観察位置のサーチ時と実際の高分解能の立体像を得るときとでは、サーチ時の方が粗くされている。検出器16からの検出信号は、各走査ごとにフレームメモリ18に記憶される。フレームメモリ18に記憶された検出信号に基づいて、立体像処理装置19は試料表面の立体像を構築する。

Claim (excerpt)：

試料に照射する電子ビームのフォーカスを変化させるためのフォーカス可変手段と、試料上の所定領域を電子ビームで走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって発生した情報信号を検出するための検出器と、走査手段による電子ビームの走査を電子ビームのフォーカスを変化させながら多数回行うように制御する制御手段と、多数回の電子ビームの走査に基づく映像信号により試料表面の立体像を表示するための手段と、試料に照射する電子ビームの径を変化させるための手段とを備えており、電子ビームの径に応じて電子ビームの走査ステップを変化させるように構成した立体像観察用走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28