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J-GLOBAL ID：200903005022929884

ウェハおよび圧電素子

Inventor： ピサレフスキー ユーリー ウラジーミロビッチ ,  ミル ボリス ヴェニアミノビッチ ,  セニュシチエンコフ ピョートル アレクサンドロビッチ
Applicant, Patent owner： 株式会社サンテック ,  タワリシチェストボ ス オグラニチョンノイ オトベットストベンノスチユ ナウチノコメルチェスカヤ フィルマ “バンチ”
Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997218189
Publication number (International publication number)：1999055064
Application date： Jul. 29, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高い電気機械結合係数と高い温度安定性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】 ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶をYX1b/α/βカットで切り出したウェハ1であって、ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶の結晶軸をそれぞれX軸(電気軸),Y軸(機械軸),Z軸(光学軸)とするとき、前記ウェハは、YZ面内におけるZ軸からの角度αが反時計回りに-15 ゚≦α≦+25 ゚をなし、また、XZ面内におけるX軸からの角度βが反時計回りに-10 ゚≦β≦+10 ゚をなすように、切り出されている。

Claim 1：

ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶をYX1b/α/βカットで切り出したウェハであって、ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶の結晶軸をそれぞれX軸(電気軸),Y軸(機械軸),Z軸(光学軸)とするとき、前記ウェハは、YZ面内におけるZ軸からの角度αが反時計回りに-15 ゚≦α≦+25 ゚をなし、また、XZ面内におけるX軸からの角度βが反時計回りに-10 ゚≦β≦+10 ゚をなすように、切り出されていることを特徴とするウェハ。

IPC (4)：

H03H 9/17 ,  C30B 29/30 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/25

FI (4)：

H03H 9/17 G ,  C30B 29/30 A ,  H03H 9/25 C ,  H01L 41/08 C