Pat

J-GLOBAL ID：200903005030690599

露光装置およびデバイス製造方法

Inventor： 岩永 武彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001161628
Publication number (International publication number)：2002353127
Application date： May. 30, 2001
Publication date： Dec. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 レチクルの温度制御を効果的に行なう【解決手段】 レリクル1のパターン面に対向してペリクル3を配設し、ペリクル3の周縁を支持するペリクルフレーム2をレチクル1に固定して一体化する。ペリクルフレーム2を貫通する孔穴2a、2bにノズル4a、4bを接続し、レチクル1とペリクルフレーム2とペリクル3によって囲まれたペリクル空間に温調流体を流す。レチクル1のクロムパターン1aを直接冷却することで、レチクル1の熱膨張を防ぐ。

Claim (excerpt)：

基板に投影されるパターンを被着したパターン面を有する原版と、該原版を保持する原版ステージと、前記原版の前記パターン面に対向して配設されたペリクルと、該ペリクルの周縁を支持するペリクルフレームと、前記原版と前記ペリクルと前記ペリクルフレームによって囲まれた空間部に温調流体を供給する流体供給手段と、前記空間部の温調流体を排出する流体排出手段を有する露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/14 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

G03F 1/14 J ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 E

F-Term (12)：

2H095BA02 ,  2H095BC31 ,  2H095BC38 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046BA05 ,  5F046CB17 ,  5F046CC02 ,  5F046CC09 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5F046DC04