高感度分析電子顕微鏡

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996042427
Publication number (International publication number)：1997237602
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】電子顕微鏡の試料を傾斜させても高感度で元素分析を行うための検出効率の向上。【解決手段】試料の2つの傾斜軸に対して垂直で、傾斜軸と約45°をなす面上に複数の特性X線検出器を設置することを特徴とする分析電子顕微鏡。【効果】試料の傾斜角度に影響されずに高感度で元素分析が可能な分析電子顕微鏡が実現できる。

Claim 1：

特性X線検出器を備えた元素分析が可能な分析電子顕微鏡において、試料の2つの傾斜軸に垂直で、かつ傾斜軸を含まない面上に複数の特性X線検出器を設置したことを特徴とする分析電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/252 , H01J 37/244

FI (2)：

H01J 37/252 A , H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

分析電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-154754 Applicant：株式会社トプコン
特開平1-143127
特開昭58-196446

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