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J-GLOBAL ID：200903005038568563
干渉計におけるアライメント装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992137015
Publication number (International publication number)：1993332716
Application date： May. 28, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基準板20からの反射光と被検体25からの反射光との干渉に基づき面精度を測定する干渉計10において、基準板に対する被検体の平行度のアライメント調整を、分割フォトセンサ39を利用して各センサでの光量差に基づいて自動的に高精度に行うようにしたアライメント装置を提供する。【構成】 被検体25の支持台26の傾斜角度を調整する角度調整手段27を設け、被検体からの反射光を光路途中に介装したビームスプリッタ18で測光手段38に集光し、その集光点近傍に複数に分割されたフォトセンサ39を設置し、基準板20からの反射光がフォトセンサの中心に照射される状態で、被検体からの反射光の入射光量差に対応する各センサの出力差に応じて前記角度調整手段を均等化方向に駆動制御する制御手段40を備えてなる。
Claim (excerpt)：
レーザー光源からの光学系を介したレーザー光の照射により、基準板の基準面からの反射光と、被検体の測定面からの反射光との干渉に基づき測定面の面精度等を測定する干渉計において、被検体の支持台に傾斜角度を調整する角度調整手段を設け、前記レーザー光の光学系の途中に上記基準板および被検体からの反射光を分光するビームスプリッタを介装し、さらに、上記ビームスプリッタによる反射光の集光点近傍に複数に分割されたフォトセンサを備えた測光手段を設置し、基準板からの反射光が上記分割されたフォトセンサに均等に照射されるセット状態で、被検体からの反射光が上記分割されたフォトセンサに照射される光量差を均等化する方向に前記角度調整手段を駆動制御する制御手段を備えたことを特徴とする干渉計におけるアライメント装置。
Patent cited by the Patent：
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